Моделирование процессов физического распыления методом молекулярной динамики в LAMMPS
Руководитель
Характер работы
Теоретический.
Описание
В работе предлагается использовать пакет LAMMPS (GitHub) для моделирования процессов распыления твёрдых тел потоком ускоренных ионов. Расчёты, основанные на квантовой механике, обладают существенными перспективами, но они все еще находятся на очень ранней стадии своего развития. Хотя они основываются на точном описании процессов в системе ускоренные ионы-поверхность, они всё еще не могут осуществлять надежные прогнозы. Классическое описание процесса распыления не позволяет предсказать поведение шероховатости поверхности и структуры приповерхностного слоя. Причина в том, что на границе раздела заряженные частицы — твердое тело происходит огромное разнообразие сложных физических и химических процессов, которые включают вторичную эмиссию электронов, распыление, нейтрализацию и проникновение (остановка) ионов, адсорбцию и десорбцию нейтральных частиц, а также химические реакции. Применение моделирования методом молекулярной динамики для изучения механизма физико-химических процессов, протекающих при ионном распылении твердых тел, значительно ускоряет получение результатов, по сравнению с экспериментальными исследованиями. Это даёт возможность сократить время, необходимое для оптимального планирования экспериментов, проверки и подтверждения результатов расчётов, а затем и для принятия решений о направлении совершенствования технологий ионного травления.
Контакты
ИФМ РАН к. 119, aepestov@ipmras.ru
