Применение пучков ускоренных ионов инертных газов для получения элементов рентгеновской оптики дифракционного качества
Руководитель
Характер работы
Экспериментальный.
Описание
Развитие современных технологий, науки и техники требует повышения качества оптических элементов и оптических систем в целом. За последние 10 лет требования к точности формы и шероховатости поверхности перешли в субнанометровую область. В первую очередь это связано с переходом в коротковолновый диапазон длин волн: от вакуумного ультрафиолетового (длины волн 100-200 нм) до экстремального ультрафиолетового (длины волн 10-100 нм) и даже мягкого рентгеновского (длины волн 3-10 нм). Здесь появляется все больше как научных задач, связанных, например, с изучением физики Солнца и верхних слоев атмосферы, так и прикладных, таких, как системы мониторинга околоземного пространства в ВУФ, активно развиваются технологии создания микроэлектроники посредством ЭУФ нанолитографии, а также разрабатываются методики нанодиагностики в области «водяного окна» (длины волн 2.4-4 нм). Такие точности формы и шероховатости (атомарного уровня) могут быть доступны только при использовании технологии ионно-пучкового травления. В работе предлагается развитие методов ионной коррекции с целью получения прецизионных оптических элементов.
Контакты
ИФМ РАН к. 119, mikhaylenko@ipmras.ru
